公告 单室四源电阻式镀膜设备（JJ2025000457）延期公告

：2025-04-14 18:01:50阅读量：

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延期信息







延期理由：



由于该项目报价情况不满足要求，本项目延期至2025-04-15 17:00



























项目名称

单室四源电阻式镀膜设备

项目编号

JJ2025000457





公示开始日期

2025-04-14 18:01:50

公示截止日期

2025-04-15 17:00:00





采购单位

南开大学

付款方式

合同签定生效后，预付合同总额的 40%；货物到达需方指定地点并安装验收合格，双方签字确认后，七个工作日内支付合同总额的 60%余款。





联系人



中标后在我参与的项目中查看



联系电话



中标后在我参与的项目中查看







签约时间要求



到货时间要求

合同签定生效后7个工作日内





预算





未公布









收货地址

南开大学八里台校区化学楼南楼207





供应商资质要求



符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件







公告说明

由于该项目报价情况不满足要求，本项目延期至2025-04-15 17:00



















采购清单1











采购物品

采购数量

计量单位

所属分类





单室四源电阻式镀膜设备

1

台















品牌

沈阳科诚





规格型号

DM650







技术参数

该设备主要由真空室腔体，蒸发源系统，样品台系统，真空泵机组，设备机架和电控系统组成，设备前门可与手套箱对接。

1、真空室腔体：1套

1)外形：优质304不锈钢方形前后开门真空室腔体1套，内部尺寸长650mm*650mm*700mm，后门采用铰链式方门，方便清洗真空腔体，真空室内部调试，维修以及取放物品，前门采用横拉式方门，前门配DN100视窗两套；后门配DN100视窗两套，

2)底部：金属源接口2套，有机蒸发源接口2套.以及MCVAC水冷膜厚探头接口2套,烘烤照明两套

3)顶部：水冷样品台接口1套，气动挡板接口2套，GDQ-J16B-KF高真空气动挡板阀接口1套,CF35热电偶法兰一个

4)右侧壁：水冷脂润滑JTFB-1300分子泵接口一套，CCQ-200CF接口一套，CF35预抽法兰接口一个

5)左侧壁；KF16高真空电阻规接口及CF35高真空电离规接口各一个，预留法兰若干

6)腔体漏率：整体漏率优于5×10-10Pa.m3/S，保压12小时，压强小于10Pa。

7)内部装有衬板，方便清理

2、蒸发源系统：1套

1)金属源2套：水冷铜电极2组，兼容蒸发舟（钨、钼，钽舟）和螺旋丝，可蒸镀金属和氧化物等，采用气缸挡板，翻盖开关，1KW直流电源2台，可切换，数字显示，蒸发电源可以通过软件控制，也可以手动控制，此外，蒸发电源还可以通过310C膜厚仪PID（闭环控制），可单通道自动调节蒸发速率；

2)有机蒸发源2套；采用铠装加热丝，安全洁净，最高加热温度：500℃，配4CC石英玻璃舟，采用气缸挡板，翻盖开关，采用直流电源2台，通过日本导电温控表进行PID精确温度控制，温控精度±1℃，温控表显示精度0.1℃；

3)隔板：蒸发源采用隔板分隔，避免交叉污染，部分隔板可免工具拆卸。

3、样品台系统：1套

1)基片旋转：采用磁流体密封，保证密封可靠性，转速5～20转／分，通过触摸屏控制连续可调；

2)基片升降：；金属源衬底与蒸发源间距320mm-520mm，有机源270mm-470mm衬底与蒸发源间距通过触摸屏控制连续可调；

3)基片挂架：承载200*200mm插入式样品托架，

4)基片挡板：采用磁流体密封，在基片旋转的任意角度均可挡住或打开，通过软件控制，旋转开关，

5)样品水冷：采用小型制冷水机制冷，冷却水温度20℃～35℃，工作环境温度：10℃～40℃；

6)样品测温；采用热电偶连接显示器显示温度

7)200mm*200mm样品镀膜均匀度±5%

4、真空泵机组：1套

1)VRD-30双级泵1台；

2)DDC-JQ40-KF真空电磁充气阀1台；

3)KF40泵阀连接软管1套；

4)GDQ-J40B-KF高真空气动挡板阀1台；

5)JTFB-1300L水冷脂润滑分子泵1台；

6)CCQ-200CF气动超高真空插板阀1台；

7)CDQ-J40B-CF超高真空气动挡板阀1台；

8)GDQ-J16B-KF高真空气动挡板阀1台；

9)ZDF-5227数显真空计1台（测量范围：1×105～1×10-5Pa）。

5、设备机架：1套

1)40碳钢方管焊接机架1套，表面喷塑；

2)3英寸万向轮4件，移动调整；

3)M16地脚4件，锁紧定位。

6、其他电控系统：1套（电气控制采用设备机架内置）

1)烘烤照明电源：1台；(集成电气)

2)总控制电源1台，配10英寸触摸屏，PLC控制器，样品台及挡板控制器，蒸发源挡板控制器，泵阀开关、相序检测，以及电缆开关接头等。

7、其他技术参数：

1)缺相保护、误操作保护，联动互锁以及一键真空启停等功能；

2)供电：～220V单相供电系统（峰值4KW）；

3)供水：小型循环制冷水机，冷却水温度20℃～35℃，工作环境温度：10℃～40℃；

4)供气：小型无油静音气泵，提供0.2-0.3MPa气压，驱动气动阀门；

5)极限真空：优于6×10-5Pa，大气至6×10-4Pa时间小于35分，充干燥氮气。







生产厂家

沈阳科诚真空技术有限公司







售后服务

按国家法定或行业要求提供售后服务。



















南开大学







2025-04-14 18:01:50